




CT系列鍍膜機
CT(Custamued workstation)系列鍍膜機系我司非標定制產(chǎn)品,根據(jù)您的要求單獨設(shè)計,滿足您的特殊需要。
特點:1、按需開發(fā),量身定制。
2、整機采用柜式結(jié)構(gòu),密封性能好,防塵防水,安全。
3、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選
4、可集成手套箱系統(tǒng)
5、可集成多種自動化應(yīng)用
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真空鍍膜機
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,終形成薄膜。
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真空鍍膜機鍍制薄膜不均勻的解決方法
制的薄膜的均勻性都會受到某種因素影響。真空狀態(tài)需要抽氣系統(tǒng)來控制的,每個抽氣口都要同時開動并力度一致,這樣就可以控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內(nèi)的壓強就不能均勻了,壓強對離子的運動是存在一定的影響的。另外抽氣的時間也要控制,太短會造成真空度不夠,但太長又浪費資源,不過有真空計的存在,要控制好還是不成問題的。此外,雖然QCM在低溫下非常穩(wěn)定,但溫度高,它將成為對溫度很敏感。
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